主要設備（卓上型走査電子顕微鏡（元素分析機能付））：産業支援技術研究所・加曽利庁舎

機器設備の概要、型番など
概要	試料の表面形状を拡大観察し、更に観察領域の元素情報も調べることができる装置です。原理は、試料に電子線を照射し、試料から放出される反射電子や二次電子を検出して表面形状を観察し、更に特性X線を検出して元素情報を得ます。観察・分析は、低真空状態で行われるため、導電性の無いセラッミクス等の試料や生体試料を、コーティング等の前処理なしで直ぐにそのまま観察できます。加えて、クールステージを使用することで、電子線照射によるダメージに弱い試料も比較的安定的に観察・分析が行えます。操作はいたって簡単です。試料室内のカメラ画像で簡単に観察箇所を探すことができます。ほとんどの操作は、マウスを使って直観的に行えます。初心者の方でも直ぐに操作方法を理解できます。
製造者	株式会社日立ハイテクノロジーズ
型番	卓上型走査電子顕微鏡(SEM)　TM4000 Plus エネルギー分散型X線分析装置(EDS)　AZtecLiveOne Xplore
導入年度	卓上型走査電子顕微鏡(SEM)　2019 エネルギー分散型X線分析装置(EDS) 2022※
備考	※この機器設備は公益財団法人JKAの競輪・オートレース売上金による補助事業により整備しました。

主な仕様及び性能

機器設備の仕様など
倍率	10から100,000倍写真倍率127ミリメートルx95ミリメートル写真を基準
画像信号	反射電子、二次電子、合成
試料可動範囲	X40ミリメートル Y35ミリメートル
最大試料サイズ	直径80ミリメートル厚さ50ミリメートル
加速電圧	5キロボルト、10キロボルト、15キロボルト
真空モード	導電体、標準、帯電軽減
検出可能元素	B₅からU₉₂まで（ボロンからウランまで）
元素分析モード	スポット、ライン、マッピング
クールステージ設定温度	-20から50℃まで