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主要設備（イオンスパッタ）：産業支援技術研究所・加曽利庁舎

機器設備の概要、型番など

概要	電子顕微鏡での観察の際に、試料表面に白金(Pt)を被覆させ試料に導電性を付与させる装置です。
製造者	日本電子株式会社
型番	JEC-3000FC
導入年度	2023
備考	ー

主な仕様及び性能

機器設備の仕様など

スパッタリング方式	マグネトロン方式
ターゲット	Pt
試料台	直径64ミリメートル

写真　装置外観