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主要設備（表面粗さ測定機）：産業支援技術研究所・天台庁舎

機器設備の概要、型番など

概要	本機は接触または非接触センサで、二次元及び三次元的な表面性状を解析する装置です。防振台が組み込まれ、2軸オートレベリング装置により、測定時のレベル出しを自動で行います。非接触センサを取り付けることにより、接触式では傷をつけてしまうようなワークでも、傷を付けることなく測定が可能です。また、輪郭形状測定用センサを取り付けることにより、二次元的な輪郭形状の解析が可能です。
製造者	株式会社ミツトヨ
型番	SV・700・3D
導入年度	1994
備考

主な仕様及び性能

機器設備の仕様など

表面粗さ測定	測定範囲：X軸100ミリメートル、Y軸100ミリメートル、Z軸6、60、600マイクロメートル 分解能：接触0.5ナノメートル、非接触10ナノメートル
輪郭測定	測定範囲：X軸100ミリメートル、Z軸50ミリメートル 分解能：X軸0.1マイクロメートル、Z軸0.1マイクロメートル