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主要設備（表面粗さ形状測定機）：産業支援技術研究所・天台庁舎

機器設備の概要、型番など

概要	本機は加工した製品や部品の表面を触針でトレースして性状を測定する接触式測定機です。ハイブリッド検出器を使用すれば傾斜面や起伏形状、R面といった形状測定と同時に表面粗さもワントレースで解析できます。また、輪郭測定用検出器によるT字スタイラスを用いれば上下連続測定も可能です。
製造者	株式会社東京精密
型番	SURFCOM NEX 230 SD2-13
導入年度	2024
備考	※この機器設備は公益財団法人JKAの競輪・オートレース売上金による補助事業（2024年度機械振興補助事業）により整備しました。

主な仕様及び性能

機器設備の仕様など

本体	X軸駆動範囲：100ミリメートル C軸駆動範囲：250ミリメートル ベース：700×450ミリメートル 積載質量：70キログラム
ハイブリッド検出器 （LH=50時）	縦方向範囲：13ミリメートル 測定分解能：0.9ナノメートル 縦方向指示精度：±(1.0+2H/100)マイクロメートル
輪郭測定用検出器	縦方向範囲：60ミリメートル 測定分解能：0.04マイクロメートル 縦方向指示精度：±(1.2+2H/100)マイクロメートル

装置の外観