ナノテック株式会社｜千葉県ものづくりネットワーク

DLCコーティング・薄膜評価試験のナノテック

企業の紹介

ナノテック株式会社及びナノテックグループは、環境と医療へ貢献することを軸に事業展開を行っています。弊社は、平成元年8月に、プラズマと真空に夢を追う会社として創業し、PVD装置の製造販売、コーティング受託加工、薄膜評価試験機の輸入販売の3つの柱を軸に、薄膜に関する製品とサービスを提供できる国内唯一の総合エンジニアリングメーカーとして事業を行ってきました。
特に、創業当初はまったく認知されていなかったDLC（Diamond-LikeCarbon）薄膜と呼ばれるアモルファス状硬質炭素薄膜技術の開発に早くから取り組み、日本で始めてDLC薄膜製造装置を開発し販売を行いました。
DLC薄膜の特徴は、ダイヤモンドの次に硬い硬度、物質の中で最も滑らかな表層、硬いが故の低摩耗性、軟質金属やポリマーやガラス等との離型性、極低摩擦による固体潤滑性です。また紫外線吸収による発電材料であり、高度の生体適合材料も持つため様々な応用が可能です。具体的用途として、半導体冶工具（半田凝着防止）、アルミ缶治工具（アルミ凝着防止による生産効率向上）、非球面レンズ金型（離型性）、半導体搬送（低摩擦、低摩耗による発塵防止）、ハードディスク保護膜（低摩擦、低摩耗による磁気ヘッドの高速化）、ロケット部品（低摩擦個体潤滑）、人工関節（低摩擦、低摩耗、生体適合）、太陽電池（紫外線吸収）が上げられます。
また、弊社表面分析センターは、国際的試験所認定ISO/IEC17025を取得して品質向上に努めています。現在は柏市の柏サイエンスパークに完成した新社屋ナノテクノプラを建設し、グループ各社を集結し事業展開を行なっています。我々は、柏市から世界へカーボンバレー構想を発信し環境と医療に貢献します。

事業内容

真空を利用した金属及びセラミック表面改質装置の製造販売。
プラズマを利用した金属加工装置の製造販売。
材料特性の評価試験装置の輸入および製造販売。
金属およびセラミック被膜等の受託成膜加工。
金属およびセラミック被膜等部品の製造販売。
各種電源および制御機器等の設計・製造販売。

DLC成膜装置
薄膜評価試験機
DLC受託加工

我が社の自慢

保有技術について

DLC（ダイヤモンド・ライク・カーボン）とは、主として炭化水素、あるいは、炭素の同素体から成る非晶質(アモルファス)の硬質膜のことであり、高耐摩耗、高耐蝕、低摩擦、低凝着などの機能を有しています。このDLCによりコーティングを行うことで、対象物に高耐摩耗等の多様な機能付加することができます。具体的には、DLCコーティングにより、金型や部品の寿命を、飛躍的に向上させることが可能となりました。現在は、DLC技術をさらに発展させた真性カーボン膜（ICF）制御技術により摺動部品や金型だけでなく導電性・撥水性・耐熱性を付与することであらたな用途展開も行っています。また、カーボン太陽電池の作製、医療材料への研究も行っています。
弊社が新たに開発したICF膜(IntrinsicCarbonFilm)は、DLCを含む高機能・多機能を持つカーボン膜の総称です。弊社は、独自のDLCコーティングテクノロジーを発展させカーボン膜に各種ドーピングや構造制御等を行うことで、様々な高機能性の付与に成功しました。
これにより各種応用用途に合わせたコーティング設計を行う事が可能になりました。

最大4mのDLCコーティング装置
環境調和型ICFと生体適合性ICF
硬度制御及び密着力を上げる手段として負パルスバイアスイオン化蒸着(PulseBiasedIonPlating)法を開発した。本方法により適切な膜質制御を行うことができ、幅広い硬さと内部応力の制御及び生体適合性の制御を行うことが可能となりました。

【導電性ICF】
導電性保護膜コーティングとして新たなドーピング技術の開発により従来絶縁性のDLCコーティングに導電性を持たせました。従来では不可能であった高硬度と導電性の両立に成功しました。

【撥水性ICF】
DLC膜に水を弾くテフロンのような撥水性を持たせました。超硬合金と同等な硬度(1,000HV)で、摩擦係数が低い(μ＝0.04～0.17)ICF膜の処理が可能になりました。金型汚れを防ぎ、生産性の向上に寄与します。この被膜は埼玉県産業技術センターとナノテック株式会社との共同開発品です

【光学用ICF】
UV吸収・赤外透過型のコーテイングとして各種ドーピング技術により、紫外光を吸収し可視光・赤外域の波長の透過を向上させることを可能にしました。

保有設備について

DLCコーティング装置3、DLC実験装置3、太陽電池用実験装置1、スクラッチ試験機3、超微小硬さ試験機1、摩擦摩耗試験機3、ボール研磨式膜厚測定機2

DLCコーティング装置研究開発用：3台生産用：10台
PVDコーティング装置研究開発用：1台生産用：3台
超微小硬さ試験機/スクラッチ試験機(低荷重型・高荷重型)
摩擦摩耗試験機/原子間力顕微鏡/表面粗さ測定器など

企業概要

企業名	ナノテック株式会社
所在地	〒277-0872千葉県柏市十余二572-61ナノテクノプラザ
連絡先	TEL：04-7135-6111
URL	http://www.nanotec-jp.com/
認定、受賞等	第13回千葉元気印企業大賞製品・サービス賞千葉ものづくり認定製品（H19,千葉県）東久邇宮記念賞第32回発明大賞功労賞平成17年度文部科学大臣表彰科学技術賞第29回発明大賞笹川特別賞千葉県ベンチャー企業経営者表彰第14回中小企業優秀新技術・新製品賞優秀賞