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主要設備（振動式精密研磨機）：産業支援技術研究所・天台庁舎

機器設備の概要、型番など

概要	水平方向の微小な振動により、平滑で歪みのない研磨面が作成可能です。 電子線後方散乱回折法(EBSD)やナノインデンターの試料作成に適しています。 また、縁ダレの発生が抑えられるため、最表面や界面の観察試料の作成にも適しています。 埋め込みサンプル用アダプタ3種（1インチ、1.25インチ、1.5インチ）のご用意があります。 異形の非埋込材料も研磨可能です。
製造者	ビューラー社
装置名	バイブロメット2
導入年度	2015
備考

主な仕様及び性能