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更新日:平成30(2018)年3月20日

主要設備(高精細X線CT装置):産業支援技術研究所・天台庁舎

機器設備の概要、型番など

概要

小焦点寸法のX線源と高精細の検出器を搭載した、高い空間分解能と密度分解能を有した工業用X線CT装置です。
LSIや小型電子部品、高分子ポリマー、樹脂成形品などの内部観察を非破壊で行うことができます。

製造者

ヤマト科学株式会社

型番

TDM1000H-II(2K)

導入年度

2013

備考

この設備は公益財団法人JKA外部サイトへのリンクのオートレース売上金による補助事業(平成25年度機械工業振興補助事業)により整備しました。

オートレース外部サイトへのリンク

主な仕様及び性能

機器設備の仕様など

X線源

密封型マイクロフォーカスX線発生装置(最小焦点寸法5μm)

最大管電圧:100kV

検出器 イメージインテンシファイア+CCDカメラ
検出面サイズ60mm×60mmまたは30mm×30mm
検出画素数2048×2048ピクセル、出力階調12bit
自動ステージ

6軸(拡大、オフセット、昇降、回転、試料位置調整用X軸及びY軸)
ステージ直径100mm、最大搭載重量2kg

撮影視野 Φ1mm~45mm(空間分解能:1画素あたり0.5μm~22.5μm)
オフセットスキャン使用時:Φ80mmまで
ヘリカルスキャン使用時:Z軸方向80mmまで

X線CT

よくある質問

お問い合わせ

所属課室:商工労働部産業支援技術研究所材料技術室

電話番号:043-252-2106

ファックス番号:043-254-6555

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