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更新日:令和3(2021)年7月13日
ページ番号:13342
日本のものづくりを支える超薄膜成膜技術・・・より薄く、より硬く、そしてより美しい薄膜を。
プラズマと薄膜に熱中し、真空関連の装置開発をしていた7人の有志による会社設立以来、「他社にないオリジナルな化学プロセスを発見しての製品化」「他に類のない開発志向型企業への成長」を目標に歩んできました。DLC薄膜をハードディスクのヘッドやハードディスクの記録媒体の表面及びペットボトルの内側に成膜するDLCCVD装置は開発の結晶のひとつです。<br/>これからもお客様のオンリーワンでナンバーワン技術達成のサポートと、薄膜とプラズマで未知の世界との遭遇を目指して、頑張ってまいります。
当社は、超薄膜成膜装置の開発・設計・製造・販売を一貫して行なう真空装置メーカーです。
・取扱う真空装置は、各種CVD装置、スパッタリング装置、エッチング装置など多岐にわたります。
・現在、CVD装置を主軸に据えつつ、新しいプロセス・独創性あふれる装置開発を鋭意継続しております。
DLCCVD装置
デスクトップDLC装置
ロードロックタイプDLCCVD装置
HDD用DLCCVDガン
絶縁酸化薄膜形成PECVD装置
二周波励起方式PECVD装置
プラズマエッチング装置
デスクトップアッシング/エッチング/表面処理装置
有機EL関連装置
スパッタリング装置
RTA装置
ペットボトル用成膜装置
電子ビーム蒸着装置他多数
具体的にはDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜形成用に開発した独自方式のプラズマCVD装置は、ハードディスクのヘッドやハードディスクの記録媒体の保護膜用に多数採用された実績を持っております。
超薄膜成膜技術(CVD、真空蒸着、スパッタリング等各種成膜方法)
超薄膜成膜技術をもってお客様の求められるプロセス・材料・現象に合致した薄膜形成技術の提供(例えば、膜厚5ナノメートルのDLC膜等)
1.サンプル出荷用デモ装置:各種DLC成膜装置、ロボット搬送型電子エッチャー、ICPエッチャー、スパッタリング装置、プラズマCVD成膜装置他2.分析用設備:EDX付電子顕微鏡、原子間顕微鏡、膜厚計、プラズマ分光計他
DLC成膜装置、スパッタリング装置、エッチング装置をはじめとする各種研究開発用装置。
企業名 | 株式会社ユーテック |
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所在地 | 〒270-0156千葉県流山市西平井956-1 |
連絡先 | TEL:04-7150-5731 |
URL |
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認定、受賞等 | ベンチャー企業経営者表彰(千葉県)中小企業創造活動促進法認定(中小企業庁)新規事業法認定(通産省)中小企業経営革新支援法承認(千葉県)中小ものづくり高度化法認定(H18,経済産業省) |
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