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更新日:平成31(2019)年3月25日

株式会社P.R.A|千葉ものづくり認定製品

半導体製造装置用インピーダンス整合器

認定番号第157号

長寿命・低コストを実現した高周波整合器

特徴

  • 半導体のエッチングに用いられるプラズマを効率よく発生させるため、電源と半導体製造装置間の周波数の整合を図る高周波整合器。
  • 半導体製造装置の購入時に搭載されている従来品の故障原因を解消することにより、長寿命化を実現。
  • 部品点数を抑えることにより低コスト化を実現。

インピーダンス整合器写真

認定企業からのコメント

株式会社P.R.A.はプラズマアプリケーション、電気、真空、ソフトウェアといった総合的な知識と技術を活かし、半導体・プラズマ製造装置と周辺装置を製作・修理するリーディングカンパニーとして常に最先端の技術に取り組んでまいりました。
インピーダンス整合器はプラズマ技術において必要不可欠な装置であり、当社では故障原因の解消や長寿命化を実現することで、お客様の開発技術向上に貢献してまいります。

株式会社P.R.A 連絡先

代表者名

代表取締役坂本 勝己

所在地

〒270-2231 千葉県松戸市稔台8-33-3

電話番号 047-369-3389
URL

株式会社P.R.A外部サイトへのリンク
http://www.pra.jp

よくある質問

お問い合わせ

所属課室:商工労働部産業振興課産業技術班

電話番号:043-223-2718

ファックス番号:043-222-4555

※製品に関するお問い合わせは、直接企業へお願いいたします

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