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更新日:令和3(2021)年3月12日

ページ番号:13231

株式会社P.R.A.|千葉ものづくり認定製品

シリコンウェハーのESC用高圧電源

認定番号第141号

低コスト・短納期・長寿命を実現させたESC(静電吸着)用電源

特徴

  • 真空下の半導体の加工プロセスで使用され、静電気によってシリコンウェハーを固定するための高圧電源。
  • 従来品と比較して部品点数を最小限に抑え、回路パターンを再構成することで低コスト化、長寿命化を実現。
  • 国内生産により、海外製の他社ESC電源よりも短納期を実現。

製品本体

認定企業からのコメント

株式会社P.R.A.はプラズマアプリケーション、電気、真空、ソフトウェアといった総合的な知識と技術を活かし、半導体・プラズマ製造装置と周辺装置を製作・修理するリーディングカンパニーとして常に最先端の技術に取り組んでまいりました。ESC電源は故障の事象に対処するのではなく、自社開発により根本原因を解決して製品寿命を延ばすことで、お客様のコスト削減、技術向上に貢献してまいります。

株式会社P.R.A.連絡先

代表者名

代表取締役社長 坂本 勝己

所在地

〒270-2231 千葉県松戸市稔台8-33-3

電話番号

047-369-3389

URL

株式会社P.R.A.外部サイトへのリンク

http://www.pra.jp/

お問い合わせ

所属課室:商工労働部産業振興課産業技術班

電話番号:043-223-2718

ファックス番号:043-222-4555

※製品に関するお問い合わせは、直接企業へお願いいたします

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