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更新日:令和元(2019)年12月1日

主要設備(卓上型走査電子顕微鏡):産業支援技術研究所・加曽利庁舎

機器設備の概要、型番など

概要

試料に電子線を照射し、試料から放出される反射電子や二次電子を検出することで試料の表面形状を拡大観察する装置です。
試料室内のカメラ画像(カラー)で簡単に観察箇所を探せ、ほとんどの操作は、マウスを使って直観的に行えます。

真空状態で観察できるため、導電性の無いセラッミクス等の試料や生体試料をコーティング無しでそのまま観察できます

製造者

日立ハイテクノロジーズ株式会社

型番

TM4000 Plus

導入年度

2019

備考

 

主な仕様及び性能

機器設備の仕様など

倍率

10~100,000倍

画像信号 反射電子、二次電子、合成
試料可動範囲 X40mm、Y35mm
最大試料サイズ 直径80mm、厚さ50mm
加速電圧 5kV、10kV、15kV

卓上走査型電子顕微鏡TM4000

よくある質問

お問い合わせ

所属課室:商工労働部産業支援技術研究所技術支援室

電話番号:043-231-4365

ファックス番号:043-233-4861

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