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主要設備（走査型電子顕微鏡(JSM-6100S)）：産業支援技術研究所・天台庁舎

機器設備の概要、型番など

概要	試料に電子線を照射し試料表面の凸凹を観察する装置です。光学顕微鏡に比べ分解能が優れ、さらに焦点深度が深いので凸凹の激しい試料もハッキリと観察できます。画像をノートPCのHDDに電子データとして保存できます。
製造者	日本電子株式会社
型番	JSM-6100S
導入年度	1989
備考	撮影データのお持ち帰り希望の場合、CD-Rをご持参ください。

主な仕様及び性能

機器設備の仕様など

分解能	4ナノメートル
最大試料径	6インチ
移動距離	X40ミリメートル、Y100ミリメートル、回転360度エンドレス