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更新日:令和6(2024)年2月29日
ページ番号:13031
概要 |
従来の技術では低圧(真空)化でしか安定発生させることが出来なかったグロー放電を、大気圧(常圧)化で安定且つ大面積でのプラズマ発生を可能にしたプラズマ表面改質装置です。このプラズマ表面改質装置のプラズマ方式は希ガスにアルゴンガス(又はヘリウム)を使用したダイレクト方式の大気圧プラズマ発生装置です。 プリント基板、FPC基板などの基板配線工程において、プラズマ表面改質を行うことで、基板と配線、メタル材料の密着性に改善がみられます。 大気圧プラズマ表面改質装置は、低温で表面改質(親水処理)からナノコーティング(撥水処理)処理までを実現します。 |
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製造者 |
株式会社ウェル |
型番 |
MyPL:Auto-100DLC |
導入年度 |
2009 |
備考 |
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RF電源 |
~200ワットまで |
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キャリアガス |
Ar(アルゴン)、He(ヘリウム) |
プロセスガス |
O2他 |
冷却方式 |
Air |
ステージストローク | 250ミリメートル |
ステージ速度 | ~100ミリメートル毎秒 |
プラズマエリア | 100ミリメートル |
主な用途 |
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