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プログレッシオ合同会社｜千葉ものづくり認定製品

半導体製造装置向け真空バルブ！

ハイスピード振り子式真空バルブ

認定番号第80号

独自の制御機構とサーボコントロールを搭載した、半導体製造装置のエッチング工程などに使用する真空バルブです。

独自の圧力制御技術

 各計測器・装置を通信により連動させる独自の圧力制御技術で正確にバルブが開閉します。

開閉速度が0.3秒

バルブプレートの開閉速度が約0.3秒で、開閉スピードが大幅に改善し、各プロセスの運転時間を短縮しました。

 

社長のコメント

当社は様々な生活機器に応用される半導体製造装置向けの真空機器の研究開発、製造販売を行っています。0.3秒という超高速でバルブ弁を開閉する振り子式真空バルブの開発に成功し、お客様のイールドやスループットを大幅に改善し、更に製品寿命を1,000万回という現行の10倍以上を達成する事に成功しました。様々に変容する半導体分野のニーズに圧倒的な技術力で対応するリーディングカンパニーです。

プログレッシオ合同会社

代表者名	代表社員 バイヤーズ エマニュエル
所在地	〒273-0864 千葉県船橋市北本町1-17-25ベンチャープラザ船橋112
連絡先	TEL:047-425-4101 FAX:047-425-4102
事業内容	半導体製造装置向け真空バルブの研究、開発、製造、販売
主要製品	振り子式真空バルブ
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