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ナノテック株式会社｜千葉ものづくり認定製品

独自に開発したホローカソード放電技術により、硬質の薄膜を成膜する装置！

ホローカソード型PVD成膜装置

認定番号第19号

独自に開発したホローカソード放電技術により、機械部品や工具等の表面に、硬質の薄膜をコーティングする装置です。

高効率で成膜

ホローカソード放電の瞬間着火と放電の安定性を高めることによって、硬質薄膜を効率良く生成できます。

良質な硬質薄膜を高速で生成

切削工具、金型、自動車部品、機械部品など、耐摩耗性が必要とされる製品・部品の表面に、密着性の高い、良質な薄膜を高速で生成できます。

 

 

社長のコメント

本製品は、ホローカソード放電によりArプラズマを生成し、蒸発させたチタン（Ti）等と窒素（N）を反応させて窒化チタン（TiN）薄膜等を成膜する装置です。

また、炭化水素系ガスを導入することで、金属元素含有DLC薄膜も成膜できるマルチ複合コーティング装置です。本製品により、ハードコーティングを平滑で密着性の高い高速成膜処理で行うことを可能にしました。

ナノテック 株式会社

代表者名	代表取締役中森秀樹
所在地	〒277-0882 柏市柏の葉5の4の6東葛テクノプラザ（本社：埼玉県）
連絡先	TEL:04-7169-2660 FAX:04-7169-2661
事業内容	真空装置の開発・製造・販売、薄膜コーティングの受託加工
主要製品	DLC成膜装置、薄膜評価試験機、DLC受託加工
URL	ナノテック 株式会社（http://www.nanotec-jp.com/）