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更新日:令和6(2024)年2月29日
ページ番号:12955
概要 |
試料に電子線を照射し試料表面の凸凹を観察する装置です。光学顕微鏡に比べ分解能が優れ、さらに焦点深度が深いので凸凹の激しい試料もハッキリと観察できます。画像をノートPCのHDDに電子データとして保存できます。 |
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製造者 |
日本電子株式会社 |
型番 |
JSM-6100S |
導入年度 |
1989 |
備考 |
撮影データのお持ち帰り希望の場合、CD-Rをご持参ください。 |
分解能 |
4ナノメートル |
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最大試料径 |
6インチ |
移動距離 |
X40ミリメートル、Y100ミリメートル、回転360度エンドレス |
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