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更新日：令和6(2024)年2月29日

ページ番号：13031

主要設備（プラズマ表面改質装置）：産業支援技術研究所・天台庁舎

機器設備の概要、型番など

概要

従来の技術では低圧（真空）化でしか安定発生させることが出来なかったグロー放電を、大気圧（常圧）化で安定且つ大面積でのプラズマ発生を可能にしたプラズマ表面改質装置です。このプラズマ表面改質装置のプラズマ方式は希ガスにアルゴンガス（又はヘリウム）を使用したダイレクト方式の大気圧プラズマ発生装置です。

プリント基板、FPC基板などの基板配線工程において、プラズマ表面改質を行うことで、基板と配線、メタル材料の密着性に改善がみられます。

大気圧プラズマ表面改質装置は、低温で表面改質（親水処理）からナノコーティング（撥水処理）処理までを実現します。

製造者

株式会社ウェル

型番

MyPL:Auto-100DLC

導入年度

2009

備考

 

主な仕様及び性能

機器設備の仕様など

RF電源

～200ワットまで

キャリアガス

Ar(アルゴン)、He(ヘリウム)

プロセスガス

O2他

冷却方式

Air
ステージストローク 250ミリメートル
ステージ速度 ～100ミリメートル毎秒
プラズマエリア 100ミリメートル
主な用途
  • 半導体ICパッド部ドライ洗浄
  • ダイボンディング前処理
  • 超音波接合前処理
  • 各種材料の表面改質（親水化、疎水化処理）
  • 液晶基板の端子洗浄
  • FPC基板の表面改質
  • ビルドアップ基板のデスミア処理
  • MEMSデバイス（マイクロマシーン）
  • ナノインプリント・バイオ（DNA)チップ
  • インクジェットプリンターヘッド
  • 光学レンズ（マイクロミラー）
  • マイクロ流体チップ
  • PMMA(COC)ボンディング
  • 低温接合プロセス
  • ワイヤーボンディング
  • Au-Au超音波接合等の前処理用(Bondability向上)
  • 半田ボール
  • タッチパネル：ドライ洗浄、表面改質

プラズマ表面改質装置の外観

お問い合わせ

所属課室：商工労働部産業支援技術研究所材料技術室

電話番号：043-252-2106

ファックス番号：043-254-6555

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