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更新日:平成27(2015)年3月3日

平成25年度新規導入・更新機器設備

成25年度に以下の機器設備を新規に導入・更新いたしました。

1.高精細X線CT装置

【機器の内容】

高精細X線CT装置は、測定対象物を壊さずに、内部構造や欠陥(割れ、気泡等)等を高精細(数ミクロン単位)に検査する装置です。
金属・LSI・精密電子部品から高分子ポリマー・樹脂成形品・フィルムなど、幅広い材質を高コントラストで撮影することができ、

  • 最大管電圧100kVで、アルミニウム換算50mmの透過能力
  • 撮影視野サイズ1~45mm、試料直径は最大75mmまで搭載可能

等の特徴を備えています。

【機器の用途】

  1. 小型精密部品の内部観察
  2. 樹脂材料の内部欠陥観察
  3. 複合材料等の配合状態観察
  4. 食品・医薬品等の内部観察

しい情報は、機器設備:高精細X線CT装置をご覧ください。

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  • この機器設備は財団法人JKAの競輪・オートレース売上金による機械工業振興補助事業により整備しました。

2.走査型電子顕微鏡システム

【機器の内容】

システムは、(1)低真空機能付き走査型電子顕微鏡、(2)エネルギー分散形X線分析装置、(3)イオンスパッタ装置および(4)イオンミリング装置から構成されています。
れた分解能と安定した電子ビーム電流を両立しており、高分解能観察評価と同時にエネルギー分散形X線分析装置(EDX)よる材料解析にも対応可能です。

(1)低真空機能付き走査型電子顕微鏡
装置は、ショットキーFE電子銃を搭載しているため試料の高分解能観察評価ができます。試料室の真空度は、高真空(7×10-4Pa)と低真空(10~300Pa)へ自在に切替が可能であり、低真空時では前処理(導電処理など)無しで水分や油分を含んだ試料の観察が可能です。

(2)エネルギー分散形X線分析装置
装置は、電子顕微鏡で観察する際に発生する特性X線を利用して元素分析ができます。高分解能化と低いノイズでクリアーな軽元素分析が可能です。

(3)イオンスパッタ装置
装置は試料表面にPt(白金)等の金属を薄くコーティングすることにより、導電性のない試料を走査型電子顕微鏡で観察する際、試料表面の帯電による像障害を防止します。

(4)イオンミリング装置
装置は、走査電子顕微鏡等の表面分析装置用の試料前処理装置で、アルゴンイオンビームにより試料の表面層の除去や断面試料の最終仕上げに威力を発揮します。

【機器の用途】

  1. 新しい材料の開発支援
  2. 材料に発生した事故の解析
  3. 動植物のような水分を含んだ試料の観察
  4. 材料の定性分析


しい情報は、機器設備:走査型電子顕微鏡システムをご覧ください。

【参考】

よくある質問

お問い合わせ

所属課室:商工労働部産業支援技術研究所プロジェクト推進室

電話番号:043-231-4326

ファックス番号:043-233-4861

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